대한민국의 반도체 관련 기업. 본사는 경기도 평택시 진위산단로 75 (진위면 청호리 332-1)에 위치해 있다. 원래 이름은 아토(ATTO)였는데 2011년부로 이름이 바뀌었다. 네이버 백과사전에서는 바뀌기 전 이름인 아토로 검색해야 나온다.

1996년 코스닥에 등록한 원년멤버다. 시범시장(1991년 ~ 1996년)부터 있던 기업들이 몇개 있기도 하지만, 1996년 정규시장으로 개업한 뒤에 들어온 회사. 한글과컴퓨터와 같은 케이스. 이 회사의 주력제품은 PE-CVD(플라즈마 화학기상증착), ETCH(식각) 등의 반도체,디스플레이 제조용 장비와 Gas cabinet과 기타 특수가스 공급 장치 등이고 소비자들을 직접 상대하지 않는 후방산업.

그리고 삼성전자와 삼성디스플레이의 핵심 협력사로 어지간한 매출이 삼성에서 나온다. R&D를 함에 있어서도 삼성이 깊숙히 관여하고 지원해준다. 그렇다보니 임원들 중 주요 요직에는 삼성그룹 임원 출신들이 포진해있고 삼성 측에서 지분을 약 5%남짓 보유하고있는 등 굉장히 우호적인 관계를 맺고있다. 그리고 이렇게 삼성의 비호를 받는 기업이다보니 국내 반도체, 디스플레이 장비업계 매출액 기준으로는 삼성전자의 자회사인 세메스의 뒤를 이은 2위로 집계된다.

2015년 8월 3일 코스닥시장 개별 주식 선물이 상장된 종목 중 하나이며, 선물 거래량은 그리 많지 않다. 코스닥 종목이지만 개별 변동성도 그리 큰 편은 아닌 종목으로 꾸준한 실적이 나오기 때문이기도 하고.

바둑 기전을 후원한 바 있다. 원익배 십단전과 원익배 여류십단전. 하지만 원익배 여류십단전은 2012년에 만들어지자마자 도로 폐지(...)되는 안습한 길을 갔다.