분류
1. 화학물질
1.1. Trimethyl Aluminium
물리 화학적 특성
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물리적 상태
| 색상
| 끓는점
| 어는점
| 분자량
| 냄새
| 비중
| 휘발성
|
액체
| 무채색
| 120~130 C
| 0~15 C
| 72.09
| 없음
| 0.752
| 없음
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트리메틸알루미늄(Trimethyl Aluminium)의 약자. 조성은 (CH3)3Al으로, 일반적으로 이합체로 존재한다. 반도체 공정에서 MOVPE 방법으로 알루미늄 금속박막이나 도선을 증착하거나, 알루미늄 함유 화합물 반도체(AlGaAs, InAlAs 및 AlN 등)와 산화물 형태의 박막을 형성하는 데 쓰이거나 유기화합물의 중합촉매나 배선용 알루미늄 박막제조를 위한 ALD 및 CVD용 액체 알루미늄 화합물로 쓰인다.
- 위험 유해성
- 건강 위험성: 흡입시 호흡기도의 화상 및 호흡촉박을 일으키고 심할경우 사망 할 수 있다. 피부 접촉시 피부에 심한 화상을 유발하고 눈 접촉시 심한 화상 및 충혈, 점막 접촉시에 심한 화상을 일으킨다. 다행히 발암성은 없다.
- 응급조치 요령:흡입할 경우 즉시 오염된 지역에서 벗어나 의사의 치료를 받아야 하고 피부접촉 시 오염된 옷을 벗고 15분 이상 비누와 물로 씻자. 그리고 의사의 치료를 받아야 한다. 먹었을 경우 물이나 우유를 대량으로 먹이자.
- 물리적 위험:매우 고인화성이며 공기에 노출되면 자연발화 할 수 있다. 또 물과 격렬하게 반응하고 부식성이 있다. 물이나 공기와 만나기만 해도 폭발적으로 반응을해 불이 붙고, 불을 진화하려고 물을 끼얹으면 바로 폭발적으로 반응을 한다. 덤으로 여기서 나오는 증기와 공기 혼합물은 폭발성도 있다.
- 화재시 대처요령: 관련 전문가가 아니면 불을 끌려고 하지말고 최소 500m 이상 떨어지자. 분말 소화약제, 소다회, 석회, 마른 모래등을 진화에 사용 할 수 있지만 또다시 불이 붙을 수 있다.
- 보관법: 10킬로그램 이상 저장, 운반, 사용시 위험물안전관리법에 의한 위험물로 분류되어, 관련 자격증 보유자가 반드시 달라붙어야 한다. 보관법은 서늘하고 환기가 잘되는 건조한곳에 용기에 저장하고 불활성 가스를 넣어줘야 한다. 또 물과 습기의 접촉을 피해야 한다.
1.2. Trimethyl Amine
물리 화학적 특성
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물리적 상태
| 색상
| 끓는점
| 어는점
| 분자량
| 냄새
| 비중
| 맛
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가스
| 무채색
| -4~3 C
| -124~-117 C
| 59.11
| 생선 썩는냄새[2]
| 0.6356~0.6709
| 짠맛
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